Blaues Klebeband ist ein häufig verwendetes Klebeband in der Halbleiterfertigung, speziell für das Zerschneiden von Wafern. Dieses Klebeband besteht typischerweise aus einer flexiblen PVC-Basisschicht, die mit einem Acrylklebstoff beschichtet ist. Es ist für seine moderaten Klebeeigenschaften bekannt, die stark genug sind, um den Wafer während des Zerschneidungsprozesses sicher zu halten, aber dennoch eine einfache Entfernung der geschnittenen Dies ermöglichen.
Während des Wafer-Zerschneidens wird das blaue Klebeband auf die Rückseite des Wafers aufgebracht und sichert diesen an einem Zerschneidungsrahmen. Diese Anordnung stellt sicher, dass der Wafer stabil und intakt bleibt, während er in einzelne Dies geschnitten wird. Die Klebeeigenschaften des Klebebands sind entscheidend, um das Ablösen der Dies zu verhindern und Bewegungen zu minimieren, die zu Absplitterungen oder Rissen im Wafer führen könnten.
Ein Vorteil des blauen Klebebands ist seine Vielseitigkeit. Es kann sowohl für Standardsilizium-Wafer als auch für empfindlichere Substrate wie GaAs (Galliumarsenid) verwendet werden, wenn es mit UV-Klebeband kombiniert wird. Diese Kombination bietet zusätzlichen Halt und Stabilität während des Zerschneidungsprozesses.
Nach dem Zerschneiden ermöglicht das blaue Klebeband eine einfache Entfernung der Dies und erleichtert die anschließenden Verpackungs- und Montageprozesse. Seine Fähigkeit, die Haftung aufrechtzuerhalten, ohne signifikante Rückstände zu hinterlassen, macht es zu einer bevorzugten Wahl in der Halbleiterindustrie.
